TEM液體加熱樣品桿可實現(xiàn)樣品的液氛環(huán)境埃米級高分辨成像和準(zhǔn)確、均勻、安全控溫。液體流道采用惰性材料防腐設(shè)計，進(jìn)液采用納流體微分控制方式，可以有效防止?jié)B漏，革命性提升原位設(shè)備安全性，保障實驗過程電鏡安全。對應(yīng)電鏡原位觀察而言，可觀察范圍基本在微米級別，整體可觀察體積小于納升，因此過量液體對實驗毫無幫助，且引入巨大安全風(fēng)險，我司的原位液氛納流控安全管理系統(tǒng)實現(xiàn)納升級別液體引入，高效準(zhǔn)確的納流體微分控制液體的流速流量及準(zhǔn)確通過樣品觀察區(qū)域，且實驗中引入總液體極其微量（小于25 μL），即使在芯片窗體薄膜破裂的情況下，也不會有大量液體滲漏，使得電鏡的安全得以保證，并且實驗不受影響，可持續(xù)進(jìn)行。并且，液體流速可控（0~15 μL/s），分辨率可達(dá)5 nL/s。 TEM液體加熱樣品桿的溫度控制準(zhǔn)確： 四電極形成反饋控制系統(tǒng)，控溫準(zhǔn)；觀測區(qū)域全覆蓋，升溫快、溫度場穩(wěn)定且均勻，升溫過程樣品不漂移；對芯片進(jìn)行自動校正和模擬出*優(yōu)的升溫曲線。
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