詳細介紹
高精度混氣系統3.0
混氣系統是透射電鏡氣體原位系統的重要配套設備,也是氣體原位實驗成功與否的重要因素。原位實驗的氣體必須具備如下要素:
1、氣體的純凈;
2、混氣配比的精確性;
3、安全性。
高精度混氣系統3.0特點:
1、氣體的純凈:超新芯混氣系統從設計之初就非常重視氣體的純凈。對此,我們融合了兩種除雜模塊。
①加熱模塊:加速氣路管壁痕量雜質的揮發,然后通過氣體吹掃帶走雜質;
②冷凍模塊:通過-170℃以下的極低溫去除氣體中的痕量有機碳等雜質。
通過一冷一熱的緊密配合,確保氣體的高純。同時我們對氣體吹掃效率做了設計優化,在確保氣體純凈的前提下,大幅降低氣體吹掃的時間,提升效率。
2、混氣配比的精確性:超新芯為混氣系統配備的高精度的氣體流量計,客戶只需要設定比例后,系統自動進氣混氣。經過連續24h的信賴性測試,混氣配比不產生波動。
3、安全性:氣體原位實驗如果發生泄露,會導致氣體進入電鏡腔室損壞電鏡。超新芯混氣系統不僅配備了超高精度的氣體流量計精確控制氣體流速,同時集成高靈敏度的氣體壓力傳感器監控氣體壓力,在發生氣體泄露的瞬間切斷氣體供應并阻止外界空氣倒吸,以上各方面都為氣體原位試驗提供了冗余的安全設計。
優化升級:
盡管做到以上三點對于高精度混氣系統來說已屬不易,但對我們來說,這遠遠不夠酷。為此我們對高精度混氣系統又做了如下優化升級:
1、優化加濕功能:對于特定的原位氣體實驗,往往需要對氣體進行加濕處理,因此我們優化了加濕模塊,并且做到靈活可控,客戶可以自主配置。
2、新增氣壓調控功能:對于特定的原位氣體實驗,往往需要調控反應池的氣體壓力,超新芯為此設計了反應池氣體壓力調控模塊,可調節反應池氣體壓力(<1atm),以滿足客戶的不同實驗需求。
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